WT-1100硅片少子寿命测试仪操作规程
发表于:2012-04-21 13:28:50
来源:shine magazine/光能杂志作者:shine magazine/光能杂志
1、 流程
开机,双击打开桌面UPCD软件 清洁样片 将样片放于测试探头下方 在Recorder界面下点Autosetting按钮在Runtime界面下进行测试 先点击Clear statistics进行存储设置 点击New测试数据自动保存到设置的文档中 测试结束
二:步骤
1、接通电源,打开主机、显示器和真空泵电源开关。
2、双击打开桌面UPCD软件,将清洁好的样片放在探头的正下方,点击界面左侧的Recorder按钮进入设置界面。
3、点击Recorder界面上的Autosetting按键,设备会自动进行测试参数设置。Autosetting过程中不要移动样片,待Autosetting结束后会在LT栏中显示少子寿命值,再移动样片选取测试点,此时测试直接点击Runtime界面中的New按钮测试,测试完样片的五点值,点检结束。如少子寿命值与样片值相同则可用于正常检测。
4、正常测试时步骤,与点检步骤基本一致。但检测时点Runtime按键进入测试界面,首先要点击Clear statistics进行存储设置,此后测试数据将保存在建立的txt文档中,然后将测试硅片放在探头的正下方,点击界面左侧的Recorder按钮进入设置界面。
点击Recorder界面上的Autosetting按键,设备会自动进行测试参数设置。Autosetting过程中不要移动样片,待Autosetting结束后会在LT栏中显示少子寿命值,再移动样片选取测试点,此时测试直接点击Runtime界面中的New按钮测试,测试时按取点原则测试五点值。一片硅片测试完成,测试下一片硅片前点击New Batch建立分区线。
5、按步骤4循环测试。
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