真空镀膜解决方案

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 Manz 的垂直镀膜系统 (VCS 1200) 完善了Manz在生产矽晶太阳能电池生产制程中的环节，将高度整合生产制程。

Manz 自行研发的设备已经可涵盖所有生产矽晶太阳能电池的主要技术程序，因此能在极短的周期内大幅缩减生产成本。

顾名思义,垂直镀膜系统 1200 (Vertical Coating System 1200)采用全新的垂直制程技术,每小时可生产 1,200 片矽晶片。结合高功率电浆源与全新载具系统（两者的专利皆在申请中），镀膜制程完全不会在矽晶片上留下任何针迹或瑕疵.

创新的机器设备与制程技术，使电池效率明显提升，快速替换清洁的设计概念将停机时间降至最低，使电池制造商在机器外部即可清洁制程反应室与载具。

VSC 1200 – PECVD 真空镀膜

• 矽晶太阳能电池正反面钝化及抗反射镀膜全自动PECVD系统
• 提高效率、强化产能，实现次世代电池概念
• 正反面镀膜有效降低总拥有成本
• 载具清洁降低总拥有成本
• 电浆源与接收器采用创新的「快速替换清洁」(QC-C) 概念
• 轻易整合新型与现有的电池厂
• 单端批次生产(single ended型)、串接式整合生产(inline型)及枚叶式生产(cluster型)

创新 Manz 高性能 PECVD 技术（专利申请中）：

• 高密度电浆与优化气体
• 高再现性
• 高电池效率与均匀度

创新 Manz 镀膜载具系统 CCS（专利申请中）：

• 垂直制程
  • 镀膜无阴影
  • 矽晶片镀膜无瑕疵