真空镀膜解决方案

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 真空技术已是现今高科技市场不可或缺的一环。过去一再证明真空技术是产品创新的重要关键。

Manz 因此建立了专业的真空技术团队，50位专家当中有许多人在此专业领域的经验已达20年以上。Manz 真空技术团队的核心能力在于能根据客户需求，开发用于薄膜太阳能电池模组大量生产及试作成产的全新真空设备。

Manz 提供各种新颖的溅镀、蒸镀与电浆辅助化学气相沉积系统( PECVD)制程真空设备。其产品组合包含垂直与水平串接式生产系统以及多室批次生产设备。采用模组化概念，让客户视需求建立灵活的设备配置。

Manz 溅镀设备每年产量最高可达 1,600,000 m²，远在平均值之上。不仅如此极低的生产成本及极小化的设备占底面积，Manz 溅镀设备PECVD能有效帮助降低总拥有成本。

串接式溅镀设备

串接式溅镀设备的模组化概念，使正、反面接触层及吸收层的设备配置更加灵活。

• 应用生产验证工具概念，以极高的系统运行时间进行大量生产，大幅节省成本
• 利用尖端薄膜沉积技术（DC、pDC、MF 回转阴极与 DC、pDC、MF、RF 平面阴极）以低生产成本达成最高良率
• 独特的无微粒传输系统可创造绝佳薄膜均匀度，并确保最高产量
• 采全模组化设计，可打造客制化设备配置，切合客户需求
• 极小化的设备占地面积即能达到最高产量，有效帮助降低总拥有成本

串接式共蒸镀设备

串接式共蒸镀设备是专门用于高温沉积制程的标准化模组概念。

• 利用最小的设备占地面积达到最高产量，降低总拥有成本
• 采全模组化设计，可打造客制化设备配置，切合客户需求