1. -目的

用于规范Centrotherm 扩散设备的操作方法和程序。

2. 适用范围

适用于神舟新能源单晶电池生产车间Centhrotherm 扩散炉。

3. 相关文件

Centrotherm 扩散设备的操作说明书、生产流程单

4. 相关设备/仪器

设备：扩散设备（Centrotherm    E2000 HT 300-5）

仪器：四探针测试仪

指示灯含义

机台指示灯含义如下表所示。

5. 作业方法

5.1. 机台操作流程

5.1.1. 工作说明：启动扩散程式，用于形成PN结。

5.1.2. 工作内容：

5.1.2.1. 检查目标炉管程式是否运行结束，即处step 0，确认结束后才可以重新启动。

5.1.2.2. 点击Jobs,进入Jobs界面，确认tube状态并进入SETUP菜单。

5.1.2.3. 选择BOAT LOT，可选择没有Active状态的Boat。

5.1.2.4. 进入下个菜单如下，并进行如下选择，之后点击Next。

5.1.2.5. 检查BOAT ID(石英舟架的编号)是否和实际舟架一致，并选择wafer尺寸，再点击Next。

5.1.2.6. 勾选准备用来扩散的炉管，再点击Next。

5.1.2.7. 选择进行扩散时Boat的位置以及状态，再点击Next。

5.1.2.8. 在recipe列表中选择规定的工艺，如选择做50的方块电阻，则选SR-50.PRZ，在Lot里填入批号信息，然后点击Finish。

5.1.2.9. 确认界面：确认之前设置无误，点击OK。

5.1.2.10. 点击Jobs返回Jobs菜单 ,点击RUN就可开始自动进炉扩散。

5.1.2.11. 当工艺结束，舟被从冷却台上拿到Store1上面，将出现如下界面并发出蜂鸣声，提醒工作人员将石英舟拿下进行卸片。

5.1.2.12. 点击OK确定进行下一次正常生产。

5.1.2.13. 在LOT里面填入批号信息，确认选择工艺正确，然后点击Load done进炉。

5.1.2.14. 注意事项

1)  操作触摸屏严禁是用尖锐物品，如圆珠笔，防止损坏屏幕；

2)  所运行的程式必须与程式标签要求的一致；

3)  操作速度不宜过快，避免操作失误引起事故。

5.1.3. 方阻测量

5.1.3.1. 工作说明：通过量测方阻来检出和预防不良品。

5.1.3.2. 工作内容

1)   程序运行完毕待冷却后，等间距取下5片单片； 

2)   到四探针测试仪上测试方块电阻，并进行记录；

3)   SPC范围：方块电阻在50±3Ω/□；

5.2. recipe修改说明

5.2.1. 打开CCCRM主界面，登陆；

5.2.2. 了解各项recipe manage 的内容及含义；

5.2.2.1. 工艺组织

5.2.2.2. 工艺管理

5.2.2.3. 工艺输入/输出

5.2.2.4. 工艺对照

5.2.2.5. DLV管理

5.2.2.6. 外部函数库

5.2.2.7. 工艺编辑

1） 工艺所用的程序语言是已经被组织好的；

2） 

5.2.2.8. ProtGraf

5.3. 异常情况处理

5.3.1. 色差片异常

5.3.2. 脏片处理流程

6. 安全注意事项

6.1. 轻微烫伤的紧急处理：在流动的水下冲洗十至十五分钟(直到疼痛感缓解)；保持干燥与清洁；注意观察伤口变化。

6.2. 不可使用油膏、油脂类涂剂；不要使用黏性敷料,不要弄破水泡。

6.3. 扩散工序使用的三氯氧磷特性及发生泄漏时的处理步骤详见MSDS资料。

6.4. 发生火灾或者爆炸时，快速切断电源，按指定线路逃生。

6.5. 生产过程中有任何异常或者不明白的地方请找工程师确定。

7. 修改履历