多晶硅需求不断扩大硅业作为新材料(有机硅等)、半导体(电子级多晶硅)、光伏(太阳能级多晶硅)等新兴产业壮大所依赖的基础性产业，近年来在我国实现了快速发展。尤其伴随光伏产业对太阳能级多晶硅需求的不断扩大，硅业

在一般单晶持续降价的冲击下，多晶太阳能产品逐渐失去价格优势，连带使得市占率下滑。各界积极寻找解决方案，使金刚线切搭配黑硅

一、背景技术在晶体硅太阳能电池生产工艺中，扩散是核心工序。在硅片表面形成均匀的高质量的 p-n结是电池效率提升的关键，也是工艺追求的目标。目前，常规生产的扩散工艺是在管式的扩散炉内，通过液态磷源(或硼源)的

在一般单晶持续降价的冲击下，多晶太阳能产品逐渐失去价格优势，连带使得市占率下滑。各界积极寻找解决方案，使金刚线切搭配黑硅成为关注焦点。而在德国，FraunhoferISE的研究人员透过N型技术，成功将多晶电池的效率