摘要：等离子化学气相沉积工艺是太阳能电池片制造过程中的重要环节，其SiN膜的质量直接影响着电池片的转换效率和长期可靠性。针对目前面临的检测难题，设计出硅片自动检测系统，以此来达到提高电池片质量及生产效率

世界一流的光致发光和100％自动检测技术能够预测最终硅片效率，提高良率并节约成本 集成了最先进的检测能力，为硅片质量检测提