摘要： 归纳总结了单晶硅片表面玷污杂质的来源和分类、清洗检验的工艺和清洗检验的设备，并对单晶硅清洗检验的发展趋势进行了分析。

一、背景技术在太阳能电池生产领域，以多晶硅片为基体制成的太阳能电池一直都是光伏市场的主流产品，而在整个晶体硅太阳能电池产业链中单多晶硅片生产环节是一个用水大户，在国家倡导节能减排的大背景下，如何在保证