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热丝化学气相沉积技术的发展历史和产业化现状

自工业革命以来,电子器件已融入到生产生活的方方面面,给人们的生活带来了诸多便利,并创造了无限可能。各行各业众多电子器件需要在低温条件下制备高质量的无机非金属薄膜,能实现此项要求的技术手段并不多,其中应