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激光精密加工

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高精度玻璃微加工技术:激光诱导蚀刻快速成型技术(LIERP)

顺应电子元器件小型化、多功能化、开发周期缩短化等需求,先进封装在半导体产业的比重稳步提升,其发展与通孔互连技术的演进和加工精度的提高息息相关。硅通孔(TSV)和玻璃通孔(TGV)是常用两种通孔互联加工方式。与硅