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硅片清洗设备

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国内首台12英寸硅片清洗设备亮相工博会

 2008-11-06

    国内首台适用于65纳米技术节点的12英寸单片晶圆清洗设备Ultra C日前在上海工博会首次亮相，从而填补了国内半

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