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雾化

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“太阳能电池的转换效率最大提高了1成”——。东芝三菱电机产业系统开发出了通过将原料制成雾状来形成薄膜的雾化CVD(化学气相沉积)装置“TMmist”。由于采用非真空工艺、不使用等离子体,因此有望减少装置的设置面积和初期投资,并提高基材薄膜的特性。