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产地：上海 上海 闵行 | 归属行业：检测设备
有效期至：长期有效
联系人: 宁伟
电话: 021-34150813
主营: 无接触式测量 厚度 电阻率 TTV Bow\弯曲度 Warp\翘曲度 型号
联系地址：上海市闵行区剑川路951号
能够测量Si，蓝宝石，GaAs，InP，Ge等材料
硅片要求
规格： 晶圆2"、 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能 厚度：单点及多点厚度
TTV:总厚度偏差
Warp：翘曲度
Bow:弯曲度
测量指标
厚度 范围：150-1000μm
测量误差:≤±1.0μm
重复性1σ:≤0.2μm
TTV 范围：0.0-200.0μm
测量误差：≤±1.0μm
重复性1σ:≤0.5μm
Warp 范围：500μm
测量误差：≤±4.0μm
重复性1σ:≤0.5μm
Bow 范围：±500μm
测量误差：≤±4.0μm
重复性1σ:≤0.5μm
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宁伟
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