Plasma清洗机真空等离子厂家热销LED专用清洗效果超强

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 半导体专用启天科技等离子清洗机，LED等离子清洗机对需要处理的固体材料表面进行清洁,活化,激活,提高表面附着力,全自动运行,可24小时连续工作,无需人工看管.等离子清洗机处理效果非常均匀稳定.

一、  等离子清洗机设备效果图

二、设备主要技术参数

外形尺寸（约）:L1335×W1080×H1836（mm） 外观喷塑处理

反应仓尺寸：不锈钢 L470mm×W450mm×H610mm

电源：主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相四线

等离子体频率：13.56MHz

射频电源功率：（0～600）W可调

设备功率：≤4kW
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控制方式：采用包括触摸屏人机界面的PLC控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

MFC质量流量控制（标准配置2路）

气体流量：(0～200)ml/min （标况下）

工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.5MPa

压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5Mpa

净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5MPa

IC半导体启天等离子清洗机的优势

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