单晶硅太阳电池的表面织构化技术

一种新型的腐蚀剂,磷酸钠(Na3 PO4·12H2O) 溶液,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在70 ℃下,用3 %的
磷酸钠(Na3 PO4·12H2O) 溶液腐蚀25min 就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构,并且其表面反射率也很低。通过SEM 观察发现:开始时,随着腐蚀时间的增加,金字塔的密度越来越大,最后达到饱和;而且对于不同的浓度,温度,这种饱和时间不同;如果腐蚀时间过长,金字塔的顶部就会发生崩塌,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇( IPA) 在氢氧化钠(NaOH) 溶液中会明显地改善织构化的效果,但是在磷酸钠(Na3 PO4 ·12H2O) 溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为:择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低,不易污染工作环境且可重复性好,所以有可能用于大规模生产。