公告
大事记
光伏家
对等离子体增强化学汽相淀积（PECVD）法制成纳米级薄膜组成的MIS 结构样品，通过美国HP 系列设备测试I-V 特性、准静态及高频C-V 特性。分析了薄膜I-V 特性、击穿机理与各项电学性能；探讨了膜的击穿电场等电学参数以及击穿电场随反应室气压、混合气体比例、衬底温度的变化关系；
给出了击穿等电性优良的PECVD形成薄介质膜的优化工艺条件。
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