产地:江苏 常州 | 归属行业:硅棒硅锭生长设备
有效期至:长期有效
技术参数:
1、电源电压:380VAC±5%
2、电源频率:50HZ
3、电源相数:3相3线制
4、变压器容量:190KVA
5、加热器最大加热功率:160KW
6、最高加热温度:1600℃
7、加热器最高加热电压:60V
8、冷炉极限真空度:<3Pa
9、晶体直径:¢6〞~¢8〞
10、熔料量 :90Kg
11、主炉室尺寸:φ900×1250mm
上炉室尺寸:φ900×900mm
下炉室尺寸:φ900×350mm
12、翻板阀通径:φ280mm
13、封头炉盖高度:410mm
14、副炉室尺寸:φ280×2500
15、籽晶转速范围:1~40rpm
16、籽晶拉速范围:0.2~8mm/min
17、籽晶快速:≥350mm/min
18、籽晶在炉内有效行程:3500mm
19、籽晶在副室内有效行程:2100mm
20、坩埚升速范围:0.02~1mm/min
21、坩埚快速:≥100mm/min
22、坩埚在炉内有效行程:400mm
23、坩埚转速范围:1~30rpm
24、两个电极孔孔距:480mm
25、耗水量:25m3/h
26、主机占地面积:2500x2000mm
27、主机最大高度:6800mm
28、主机重量:约7500Kg