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半导体单片刻蚀清洗设备
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  • : 1.00元/台
  • 起订量:1 台
  • 可售数量: 100 台
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2020-03-13 14:16

产地:江苏 无锡 无锡市 | 归属行业:清洗设备

品牌:AEL

有效期至:2021-03-11

联系人: 董黎

电话: 0510-85382188

主营: 半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修;仓储服务;管道工程的设计、安装

联系地址:半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修;仓储服务;管道工程的设计、安装

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企业信息

无锡亚电智能装备有限公司

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    资料信息

  • 店铺等级:
  • 旺铺店长: wuxiyadian

    认证信息

  • 实名认证
  • 信用认证
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  • 供货总量:100 台
  • 发货期限:自买家付款之日起 90 天内发货
  • 所在地:江苏 无锡 无锡市

 单片刻蚀设备

型号有FY-1500S、FY-2000S、FY-3000S三大系列,适用于6吋、8吋、12吋晶圆刻蚀,主要工艺为metal Etch,应用于半导体领域。

产品详情

单片刻蚀设备

 - 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准;

 - 结构合理紧凑,占地面积小;

 - 配置ULPA FFU ,带CDS供液及回收系统, 自动补液配液(通常3种药液);

 - Chamber内正面2~3个Dispenser 及一个Fix Nozzle, 背面带DI Nozzle;

 - MTTR: 小于60min,MTBF: 最小500Hour;

 - 配置离子发生器及高清摄像头;

 - 4~24 个腔体。

大家好!无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:炉管清洗机,片盒清洗机,部件清洗机,本地化学品供液设备,湿法工作台,烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容,欢迎广大客户来电咨询。

销售部电话: +86-510-8538-2188

邮箱: wendy.dong@aelsystem.com

手机: +86-13306189603  网站:www.aelsystem.com


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董黎

 
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