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半导体槽式湿法清洗设备
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  • 面议
  • 起订量:1 台
  • 可售数量: 100 台
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2020-03-13 14:16

产地:江苏 无锡 无锡市 | 归属行业:清洗设备

品牌:AEL

有效期至:2021-03-11

联系人: 董黎

电话: 0510-85382188

主营: 半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修;仓储服务;管道工程的设计、安装

联系地址:半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修;仓储服务;管道工程的设计、安装

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企业信息

无锡亚电智能装备有限公司

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    资料信息

  • 店铺等级:
  • 旺铺店长: wuxiyadian

    认证信息

  • 实名认证
  • 信用认证
  • 商品合格
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  • 供货总量:100 台
  • 发货期限:自买家付款之日起 90 天内发货
  • 所在地:江苏 无锡 无锡市

 产品详情

1、槽式湿法设备Cassetteless-type:适用于90~130nm工艺制程,均匀性高,颗粒度低和颗粒等级优势大,适用DMOS、50LOGIC、35MIX等产品。


- 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准;

- 全自动倒片,兼容SMIF和FOUP;

- 支持EAP、FDC等功能;

- 多级Wafer保护措施;

- 支持Marangoni干燥;

- 支持多任务并行处理;

- 自动补、配液,可兼容多种浓度配比;

- 支持自动补液及配液;

- 配置烟感,温感,光感及CO2 灭火装置;

- BATH过温保护,各MODULE 配置LEAK SENSOR;

- INTERLOCK全面丰富。

 

2、槽式湿法设备Cassette-type:适用于130nm及以上制程,适用产品如:IGBT、MEMS等,自动化程度高,价比高,稳定性强。

- 搭载先进超声波、兆生波清洗模块,优化清洗工艺效果;

- 支持EAP、FDC等功能;

- 多级wafer保护措施;

- 集成多种干燥技术,如:马兰格尼干燥、IPA 干燥;

- 多尺寸衬底兼容清洗;

- 支持多任务并行处理;

- 全自动灭火系统,排风系统防爆处理,提高设备安全性;

- 自动补、配液,可兼容多种浓度配比。
 

无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:炉管清洗机,片盒清洗机,部件清洗机,本地化学品供液设备,湿法工作台,烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。


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董黎

 
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