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杂质和缺陷对铸造多晶硅寿命分布的影响

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铸造多晶硅的原生少子寿命沿晶锭生长方向呈倒U字型分布,对应于硅锭体内缺陷和主要杂质的规律性
分布。硅锭中部Fe浓度低,微缺陷较少,对应的体寿命相对较高。硅锭底部高浓度的O、Fe杂质及高密度微缺陷
导致了该区域体寿命偏低;硅锭顶部存在高浓度的C、Fe杂质及大量微缺陷,尤其是高密度位错与铁的相互作用导
致该区域体寿命偏低。大量沉淀和结构缺陷并存使得晶锭底部和顶部的材料难以通过吸杂和钝化来改善少子寿
命。
 
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