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直拉单晶炉真空系统和充气系统的改进

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  • 更新日期:2012-04-26
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详细介绍
直拉单晶炉生长过程中炉膛内真空度的高稳定性对硅单晶正常生长起到很重要的作用。本文分析了引起直拉单晶炉生长过程中炉膛内真空度不稳定的因素, 通过改进单晶炉真空系统和充气系统, 确保硅单晶在生长过程中单晶炉炉膛内的真空度保持高度稳定, 有助于提高硅单晶生长的质量。
 
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