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超声波自动硅片清洗机标准作业指导书

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  • 更新日期:2012-04-21
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详细介绍
一、目的
1.1规范生产现场的硅片清洗操作流程,确保硅片清洗的效率和质量。
1.2降低由于人员操作不当而引起的硅片质量问题,如隐裂、崩边、缺角等。
1.3杜绝生产中异常事故的发生,保证生命和财产安全。
 
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