M5111-4W/UM型高温氧化/扩散系统使用说明书

本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。送片系统采用丝杠、导轨副及SiC桨悬臂式推拉舟结构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。温控部分选用带有自整定PID调节系统、0.1级精度以及具有多项保护功能的进口高档温控仪，因而控温精度高，温度稳定性好，升、降温响应速度快，同时可与计算机通讯实现升降温速率自动控制。气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。整机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。