电池工艺卫生要求
插片:
整个操作过程中衣服,皮肤不可接触硅片。
自我监督,及时更换一次性薄膜手套。
所有状态必须戴好口罩。
到楼下仓库领料必须换鞋,拉货上来要风淋。
单晶制绒:
全过程戴无纺布口罩,完全遮住口鼻,戴纱布手套及乳胶手套。
制完绒自冲洗纯水中取出硅片观察表面绒面质量前,必须更换干净的乳胶手套,取片以干净的塑料镊子夹取。
在该工艺过程中,严禁有金属及其他杂质进入各槽内,否则更换槽液。
花篮搬运操作时穿戴防酸碱围裙,双层乳胶手套,防止碱液沾染到衣服及皮肤上。
及时将地面上滴落的碱溶液清除,防止滑倒
严禁将花篮直接放在地上或规定以外的地方。
多晶清洗制绒:
硅片承片盒:使用前从整理箱中取出干净的相应型号的承片盒,放在工作台上备用。使用过程中严禁不戴乳胶手套触摸承片盒。结束使用后,放入干净的塑料袋,并放入整理箱保存。
花篮:不使用时放置干净台面上。使用过程中损坏的花篮也放置于另一个干净台面等待处理,严禁放在不洁表面。
化学清洗机槽盖板:不使用时,冲洗干净。
在该工艺过程中,严禁有金属杂质进入水槽内。
交接班以及清洗机异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片。
单晶清洗:
操作过程中发现药品瓶上有沾污,需擦洗干净再打开瓶盖,防止药品瓶上污物进入槽中。
换液前清洗槽的同时检查槽周围,槽顶部以及机械手臂的卫生状况,做好清洁工作(纯水擦洗)。
向槽中加HF和HCl时,注意开盖、倒液等一系列工作必须在清洗机内抽风状态正常状态下进行并做好一切防护措施。
交接班以及清洗机异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片。
甩干:
全过程戴乳胶手套和口罩操作,严禁不带乳胶手套触摸甩干机工作台面及甩干机内任何部位。
甩干后的硅片及时放入传递窗,关闭窗口,不向传递窗中放入硅片或从传递窗中取出硅片后,保持其处于关闭状态。
注意工艺跟踪单及流程卡等纸类不可与硅片及承片盒接触。
甩干的硅片不可以在空气中滞留,不允许把甩干后硅片放在非指定位置。
绝对禁止手动关闭甩干机或提前关闭。
以上规定务必严格遵守,一经发现违反处50-100元处罚,重犯加倍
电池工艺卫生要求
扩散:
各道工序的工夹具应保持在各工位处,以免交叉污染。
石英舟、石英档板(炉尾、炉口和外档板)、石英管、石英钉、石英钉套管等石英制品,更换型号时,当前使用的石英舟冷却后放入净化保管柜中保存;取出的石英舟及其它需要清洗的石英制品按扩散间石英制品工艺卡中的要求清洗。
扩散间不允许存在带有纤维的物质以及易锈的金属或粘有金属粉末的物品,比如纸盒、纸箱、拖把等。
任何人员进入扩散间必须风淋30秒,并且每次只能一人风淋。必须穿好洁净服,戴好口罩、帽子、鞋套。
非必要人员不要随便进入扩散间。
扩散间员工不得穿洁净服进入清洗间(清洗管子除外)。
扩散间两侧的应急门平时严禁出入。
不准将袖口撩高、卷起,保持洁净服干净。
任何纸制品不得接触硅片、卸片盒保持干净。
扩散管清洗:
1、 清洗后的石英制品不可长时间暴露在空气中,小物品放置在洁净柜中保存,炉管和桨应及时装入炉体,并关闭炉门,持续以最大流量通氮气。
方块电阻测量:
1、 整个过程佩带乳胶手套和口罩,经常更换,保持洁净。
TCA及换源:
不使用的石英舟必须存放在净化柜内,待下次使用前取出按要求清洗,并按要求做TCA和饱和。
TCA及POCL3源瓶放在抽风橱内保存。
更换源瓶时戴好防毒面具及乳胶手套。
以上规定务必严格遵守,一经发现违反处^^^^元处罚,重犯加倍
电池工艺卫生要求
刻蚀:
刻蚀夹具:不用时用无水乙醇擦洗干净,放置于干燥的无酸性气体环境中保存。
真空吸笔:使用前和每2小时用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头。硅片承片盒不可与身体任何部位接触,不使用时放入干净的塑料袋并放入整理箱保存。
石英钟罩可据具体情况,用净洁布拭酒精檫拭,酒精挥发干净后再使用。
全过程戴无纺布口罩,完全遮住口鼻,戴纱布手套及乳胶手套
去PSG:
全过程戴口罩及乳胶手套。
工作过程中腐蚀机门应关闭,以避免气态HF外泄和硅片受光。
交接班以及清洗机异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片。
甩干的硅片不可以在空气中滞留,不允许把甩干后硅片放在非指定位置。
绝对禁止手动关闭甩干机或提前关闭。
PECVD:
整个PECVD生产过程中,要戴好口罩和一次性手套。
插片过程中承载盒和硅片不可与身体任何部位接触。
使用前和每2小时用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头。保证吸笔头干净。
全过程戴无纺布口罩,完全遮住口鼻,戴纱布手套及乳胶手套
背电极:
整个背电极印刷生产过程中,必须戴好口罩和乳胶手套。
台面要经常清理,如有片碎现象,更要及时清理干净。
背电场:
整个背电场印刷生产过程中,必须戴好口罩和乳胶手套。
台面要经常清理,如有片碎现象,更要及时清理干净。
载片盒每天清除碎屑,并以酒精擦拭干净。
每罐浆料必须分多次加料,不允许一次加很多,网版刮刀两侧不允许有大量残留铝浆。
返工的片子擦拭要彻底干净,不允许有任何铝浆粘附。
正电极:
整个正面电极印刷生产过程中,必须戴好口罩和乳胶手套。
卸片台处的片子不得暴露在空气中或长时间给予滞留。
行走臂上的铝粉等杂物要及时清理。
分类检测
必须戴好口罩和乳胶手套。
对有铝苞或铝珠的电池片,拿取要轻拿,每次30片。
以上规定务必严格遵守,一经发现违反处50-100元处罚,重犯加倍。
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