当前位置:首页 > 图书馆信息 > 技术 > 正文
线切割工序操作规程
发表于:2012-04-21 17:24:23
来源:www.solarbe.com作者:solarbe
线切割工序操作规程
一:配置晶棒。根据切方工序提供的《领取晶棒记录表》配置所需晶棒。需要由若干小段晶棒拼凑成一组长棒时,每组相同位置所对应的晶棒之间长度差距不得超过10mm。每个位置的晶棒不得超过4段。每组晶棒总长度不低于450mm,不超过515mm。配置完毕后将晶棒棒号、长度、所在位置填写在《粘晶棒记录表》上。
二:领取晶棒。根据《粘晶棒记录表》所配置的晶棒棒号在切方工序领取晶棒并在《领取晶棒记录表》上签名。领取的晶棒根据《粘晶棒记录表》上所标位置摆放在粘晶棒工作台上,并保持清洁。领取晶棒时发现晶棒上有油污,硅粉,水渍等脏物时此晶棒便不得领用,向主管领导反应,等切方工序将晶棒清洁干净后再领用。
三:粘连晶棒。将金属垫条放置在粘晶棒限位器上,一边紧靠定位螺钉。用无水酒精清洁金属垫条与玻璃垫条待粘表面,调配15克胶和15克固化剂,搅拌均匀,均匀的涂抹在金属垫条上,然后将玻璃垫条放在上面,用力挤压移动玻璃垫条,使玻璃垫条和金属垫条之间的空气全部排出,充分接触。然后压上重物,等待20分钟。取下重物,用无水酒精清洁玻璃垫条和晶棒待粘表面。根据晶棒长度调20~25克胶和20~25克固化剂,搅拌均匀后均匀的涂抹在玻璃垫条上,将晶棒放在上面,用力挤压移动晶棒,使其中的空气全部排除,充分接触,然后压上重物,等待20分钟后翻转过来,将夹持导轨放置在金属垫条上,用40牛的力上紧5个涂抹过黄油的螺栓,放置6小时后用于切割。
四:搅拌浆料。根据切割晶棒的总长度用计算软件计算需要的乙二醇和碳化硅,填写在《搅拌浆料记录表》上。先用气泵将乙二醇抽入搅拌器中,然后将碳化硅缓慢均匀的倒入搅拌器中,连续搅拌4小时以上,用测流速专用工具测量其流速,时间在30~40分钟为合格。
五:切割前准备步骤。
1、按F14,F6 将冷却水开关全部打开,在执行此命令前,要检查外界的冷却系统是否打开,并检查进水口水压在 2 - 4 bar。
2、检查切割线网上是否有跳线,并将跳线固定好。从机器中将所有掉落的晶片清理干净,并将线网下方的过滤网清洁。
3、按F15 检查右侧放线轮上的切割线的长度( >210km),如果长度不够,请更换新的足够长的线,同时要调整放线轮的参数(直径、线长--km).按F15 检查左侧收线轮上线的长度(<430 km),如果长度已超出,请更换新的收线轮,同时要调整收线轮的参数(直径、线长--km),并在新的收线轮上预先绕上1km的线(手动执行).(如出现收线轮线长的报警等,可将收线轮上的线长临时改为2km, 待正常后,再将其改回正确的值。)。
4、检查小的导线轮,如果有损伤等情况时,可将其更换,正常切割10次左右后,将其更换。
5、将左、右侧的门关闭。
6、检查浆料供给是否正常 (向前、向后)?
7、检查浆料罐浆料过滤器的压力(最大不要超过: 0.5 bar,否则要更换新的过滤袋)。
8、检查浆料的喷嘴是否被堵住?如果不是很干净,请将其清洗干净。
9、将所有工件的夹紧部位清洁, (较长晶棒的一侧紧靠活动轴承一侧) ,并将其锁紧。
10、检查冷却水的温度在切割时不要超过19ºC (按F14,àB1701)。检查柜内的冷却水系统的压力必须分别在:最低 5 bar; 2.5 bar; 5 bar. (冷却系统必须全部打开)。  
11、按F11,F4 检查浆料的密度是否在范围内? (=1.65 ± 0.001kg/l)
12、按F11/S10 检查浆料的温度及其设定值 “Set” 是否正确(25.4°)?
13、按F12 检查切割的工艺参数 (是否为正确的切割过程参数)?
14、按F13 检查工件进给的调节因子是否设定在 100%?按F13 检查所有工件是否被锁紧?并调整设定切割时的零点(按F5,降低工作台).调节上工作台面,按F9 先释放夹紧,再手动转动机器右侧的手轮,调节结束后,并将工作台再次锁紧。按F13/S3 检查工件的位置是否回到 2.000mm处?按F13/S10 检查在切割时的进给速度是否设定为:1mm/min?
15、按F14/S10 检查轴承和马达的温度设定值 “Set” 是否正确(23°)?
16、按F15 检查线速度的调节因子是否设定在 100%?按F15 检查向前/向后进线的按钮应没有被激活(F5)?按F15 检查切割进线的方向设定是否正确 (F6, 向左侧进给ß”)?按F15 检查断线检查键应被激活 (F8)?按F15检查接地检查键应被激活 (F9)?按F15/S10 检查线的张力(自动模式下)设定值是否正确 (应为:35N)?按F15/S10 检查线速度在自动模式下设定是否正确(应为:12m/s)?
17、按F16/S10 剩余时间值是否正确?在开始自动切割前检查不允许有报警信息存在。将门用钥匙关闭并锁紧(off 侧),并将钥匙取出保管好。在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上,并确认切割时间是否正确?在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上,并确认此次切割所要消耗的线长是否正确?
18、开始切割.按<->”按钮。
六:切割中注意事项。在切割过程中要观察机器的运行状况 (轴承的温度;浆料的温度/ 浆料的流量;线的张力等。
七:切割后检查步骤。
1、在切割结束时,按ENTER”键确认信息;
2、在顶层画面按F3 键,将自动模式改为“SETUP”模式;
3、用钥匙将门解锁(to “ON” side);将前门打开;
4、检查晶棒是否被完全切透成薄片;(如果没有,请在profile里将切割结束的位置再向下切 1mm ,最低位置设定为: –133.5 mm ,并继续运行切割。)
5、按F13,S10,将进给速度降为: 20mm/min ;在手动模式下,按S13,升起切割后的晶片,将工作台升到 > +1mm.同时要检查所有的切割线在升起过程中正常.按F13, S2 .使返回工作台按钮闪烁,并将作业台自动回升到装/卸工件的位置。
6、将工件解开缩紧。
7、将工件从机器中取出。
8、关上前门。
八:脱离硅片。两人各持夹持导轨的一端,将晶棒移出泡片盒,来到脱胶水槽上方,用力将晶棒翻转过来,放在水槽中。先用洁净的冷水冲洗硅片,将付着在硅片上的浆料冲洗干净,然后用65度的热水浸泡,使胶软化,硅片能从玻璃垫条上取下来。注意热水不能飞溅到硅片上,热水也不能浸泡到硅片上。取下的硅片按《粘晶棒记录表》的顺序摆放在盛有清水的容器中。将脱离硅片的夹持导轨从脱胶水槽中取出,松开螺栓,取下导轨,将玻璃垫条和金属垫条放在脱胶加热器上准备脱胶。
九:脱离玻璃垫条。打开脱胶加热器,等待30分钟左右,用小铲插入玻璃垫条和金属垫条之间,使玻璃垫条和金属垫条分离。脱离下的玻璃垫条丢弃,将金属垫条上固化的胶清理干净,冷却后等待下次切割。
关键词: 线切割
  • 推荐
  • 政策
  • 市场
  • 企业
  • 产业
  • 技术
  • 专栏
  • 招标
  • 更多
  • 行情
  • 财经
  • 展会
  • 光热
  • 储能
  • 碳交易
  • 能源互联网电改
阳光电源
特变电工
华为
  • 日榜
  • 周榜
  • 月榜
投稿与新闻线索联系:010-68027865 刘小姐 news@solarbe.com 商务合作联系:010-68000822 吕先生 media@solarbe.com 紧急或投诉:13811582057, 13811958157
京ICP备10028102号-1 电信与信息服务业务许可证:京ICP证120154号
地址:北京市大兴区亦庄经济开发区经海三路天通泰科技金融谷 C座 16层 邮编:102600