线切割工序操作规程
一：配置晶棒。根据切方工序提供的《领取晶棒记录表》配置所需晶棒。需要由若干小段晶棒拼凑成一组长棒时，每组相同位置所对应的晶棒之间长度差距不得超过10mm。每个位置的晶棒不得超过4段。每组晶棒总长度不低于450mm，不超过515mm。配置完毕后将晶棒棒号、长度、所在位置填写在《粘晶棒记录表》上。
二：领取晶棒。根据《粘晶棒记录表》所配置的晶棒棒号在切方工序领取晶棒并在《领取晶棒记录表》上签名。领取的晶棒根据《粘晶棒记录表》上所标位置摆放在粘晶棒工作台上，并保持清洁。领取晶棒时发现晶棒上有油污，硅粉，水渍等脏物时此晶棒便不得领用，向主管领导反应，等切方工序将晶棒清洁干净后再领用。
三：粘连晶棒。将金属垫条放置在粘晶棒限位器上，一边紧靠定位螺钉。用无水酒精清洁金属垫条与玻璃垫条待粘表面，调配15克胶和15克固化剂，搅拌均匀，均匀的涂抹在金属垫条上，然后将玻璃垫条放在上面，用力挤压移动玻璃垫条，使玻璃垫条和金属垫条之间的空气全部排出，充分接触。然后压上重物，等待20分钟。取下重物，用无水酒精清洁玻璃垫条和晶棒待粘表面。根据晶棒长度调20~25克胶和20~25克固化剂，搅拌均匀后均匀的涂抹在玻璃垫条上，将晶棒放在上面，用力挤压移动晶棒，使其中的空气全部排除，充分接触，然后压上重物，等待20分钟后翻转过来，将夹持导轨放置在金属垫条上，用40牛的力上紧5个涂抹过黄油的螺栓，放置6小时后用于切割。
四：搅拌浆料。根据切割晶棒的总长度用计算软件计算需要的乙二醇和碳化硅，填写在《搅拌浆料记录表》上。先用气泵将乙二醇抽入搅拌器中，然后将碳化硅缓慢均匀的倒入搅拌器中，连续搅拌4小时以上，用测流速专用工具测量其流速，时间在30~40分钟为合格。
五：切割前准备步骤。
1、按F14,F6 将冷却水开关全部打开，在执行此命令前，要检查外界的冷却系统是否打开，并检查进水口水压在 2 - 4 bar。
2、检查切割线网上是否有跳线,并将跳线固定好。从机器中将所有掉落的晶片清理干净，并将线网下方的过滤网清洁。
3、按F15 检查右侧放线轮上的切割线的长度（ >210km）,如果长度不够，请更换新的足够长的线，同时要调整放线轮的参数（直径、线长--km）.按F15 检查左侧收线轮上线的长度（<430 km），如果长度已超出，请更换新的收线轮，同时要调整收线轮的参数（直径、线长--km），并在新的收线轮上预先绕上1km的线（手动执行）.（如出现收线轮线长的报警等，可将收线轮上的线长临时改为2km, 待正常后，再将其改回正确的值。）。
4、检查小的导线轮，如果有损伤等情况时，可将其更换，正常切割10次左右后，将其更换。
5、将左、右侧的门关闭。
6、检查浆料供给是否正常 (向前、向后)?
7、检查浆料罐浆料过滤器的压力(最大不要超过： 0.5 bar，否则要更换新的过滤袋)。
8、检查浆料的喷嘴是否被堵住？如果不是很干净，请将其清洗干净。
9、将所有工件的夹紧部位清洁， (较长晶棒的一侧紧靠活动轴承一侧) ，并将其锁紧。
10、检查冷却水的温度在切割时不要超过19ºC （按F14,àB1701）。检查柜内的冷却水系统的压力必须分别在：最低 5 bar； 2.5 bar； 5 bar. (冷却系统必须全部打开)。  
11、按F11,F4 检查浆料的密度是否在范围内? (=1.65 ± 0.001kg/l)
12、按F11/S10 检查浆料的温度及其设定值 “Set” 是否正确(25.4°)?
13、按F12 检查切割的工艺参数 (是否为正确的切割过程参数)?
14、按F13 检查工件进给的调节因子是否设定在 100%?按F13 检查所有工件是否被锁紧？并调整设定切割时的零点（按F5,降低工作台）.调节上工作台面，按F9 先释放夹紧，再手动转动机器右侧的手轮，调节结束后，并将工作台再次锁紧。按F13/S3 检查工件的位置是否回到 2.000mm处?按F13/S10 检查在切割时的进给速度是否设定为：1mm/min？
15、按F14/S10 检查轴承和马达的温度设定值 “Set” 是否正确（23°）?
16、按F15 检查线速度的调节因子是否设定在 100%？按F15 检查向前/向后进线的按钮应没有被激活(F5)?按F15 检查切割进线的方向设定是否正确 (F6, 向左侧进给 “ß”)?按F15 检查断线检查键应被激活 (F8)?按F15检查接地检查键应被激活 (F9)?按F15/S10 检查线的张力（自动模式下）设定值是否正确 (应为：35N)?按F15/S10 检查线速度在自动模式下设定是否正确(应为：12m/s)?
17、按F16/S10 剩余时间值是否正确?在开始自动切割前检查不允许有报警信息存在。将门用钥匙关闭并锁紧（off 侧），并将钥匙取出保管好。在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上，并确认切割时间是否正确?在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上，并确认此次切割所要消耗的线长是否正确?
18、开始切割.按“<->”按钮。
六：切割中注意事项。在切割过程中要观察机器的运行状况 (轴承的温度；浆料的温度/ 浆料的流量；线的张力等。
七：切割后检查步骤。
1、在切割结束时，按“ENTER”键确认信息；
2、在顶层画面按F3 键，将自动模式改为“SETUP”模式；
3、用钥匙将门解锁（to “ON” side）；将前门打开；
4、检查晶棒是否被完全切透成薄片；(如果没有，请在profile里将切割结束的位置再向下切 1mm ，最低位置设定为： –133.5 mm ，并继续运行切割。)
5、按F13,S10，将进给速度降为： 20mm/min ；在手动模式下，按S13，升起切割后的晶片，将工作台升到 > +1mm.同时要检查所有的切割线在升起过程中正常.按F13, S2 .使返回工作台按钮闪烁，并将作业台自动回升到装/卸工件的位置。
6、将工件解开缩紧。
7、将工件从机器中取出。
8、关上前门。
八：脱离硅片。两人各持夹持导轨的一端，将晶棒移出泡片盒，来到脱胶水槽上方，用力将晶棒翻转过来，放在水槽中。先用洁净的冷水冲洗硅片，将付着在硅片上的浆料冲洗干净，然后用65度的热水浸泡，使胶软化，硅片能从玻璃垫条上取下来。注意热水不能飞溅到硅片上，热水也不能浸泡到硅片上。取下的硅片按《粘晶棒记录表》的顺序摆放在盛有清水的容器中。将脱离硅片的夹持导轨从脱胶水槽中取出，松开螺栓，取下导轨，将玻璃垫条和金属垫条放在脱胶加热器上准备脱胶。
九：脱离玻璃垫条。打开脱胶加热器，等待30分钟左右，用小铲插入玻璃垫条和金属垫条之间，使玻璃垫条和金属垫条分离。脱离下的玻璃垫条丢弃，将金属垫条上固化的胶清理干净，冷却后等待下次切割。