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大事记
光伏家
煅烧作业指导书
发表于：2012-04-21 14:43:20
来源：shine magazine/光能杂志作者：shine magazine/光能杂志
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江苏淮安标准操作文件
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编 号：
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煅烧作业指导书
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版 本：
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批 准
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审 核
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编 制
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1目的：
清理热场的杂质，规范煅烧的步骤。
2范围：
适用于操作工对16″、18″热场的煅烧。
3煅烧步骤：
3.1在炉膛真空达到要求后，(3帕以下) 充氩气，炉压控制在1300帕左右，石墨件煅烧时，从升低温到中温、高温要求严格控制慢升温；
3.2按加热启动按扭，升功率30-50KW(低温功率)，通常15分钟后石墨加热器就发亮，检查炉膛是否有热点，是否有火花以及漏电；
注：煅烧时如果电流表和电压表同时摆动就要降低氩气流量直到现象消除；
3.3一旦石墨发亮，再调温度控制器，升功率50-80KW，继续观察电流表和电压表，观察是否有同时摆动现象，如果有，就降功率。控制炉压1300帕，低温烘烤半小时。
3.4炉子在低温稳定后，手动升功率到中温，恒温1-2小时(旧石墨1小时，新石墨2小时)。中温稳定烧足时间后，继续升高温80-105KW，严格要求中温到高温阶段升温速度不能太快，加功率幅度不能大，分多次慢速升至高温功率。恒温1-2小时。（旧石墨1小时，新石墨2小时）
3.5停加热，关氩气，抽真空，观察真空度上升情况，直到接近8帕或更低；
3.6降中温充氩气烧（旧石墨半小时，新石墨1小时）后，降功率，关闭加热电源，温度控制器输出为0，开炉前进行漏气速率检查，检查时让上、下轴都转动；
3.7新石墨系统煅烧时，升温速度要缓慢，升温速度取决于石墨的纯度，升温时特别要注意表的摆动现象，欧陆控制器置手动，关闭氩气、晶升、晶转、埚转等，抽空30分钟后停炉。如两表同时摆动
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则马上降温，30分钟后再逐渐升温，同时观察是否有同时摆动现象，如有就降低功率，直到现象消失为止；
3.9煅烧时操作人员一定要坚守岗位，不得擅自外出，不得叫别人代看，违者将从严处罚。
新单晶炉连续锻烧三次，清扫必须做到绝对干净，特别是上炉膛、小副室、提拉室、软轴钢丝绳、重锤、籽晶夹头等。
4煅烧注意事项：
1）旧的热场，炉子真空要抽到6帕，全新的热场，炉子真空要抽到12帕左右，漏气速率1帕/3min
2）打开冷却水，并检查水路是否畅通
3）坩埚转速设为1转/分。
4）旧导流筒煅烧时，用一层石墨毡放在三瓣锅上，以免导流筒上的残硅掉下损坏热场
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关键词：
煅烧作业
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