硅片等级分类及标准

一、优等品

1：硅片表面光滑洁净。

2：TV：220±20μm。

3：几何尺寸：

边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；

边长103±0.5mm、对角135±0.5mm；

边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。

二、合格品 

一级品：

1：表面有少许污渍、轻微线痕。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：几何尺寸：

边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；

边长103±0.5mm、对角135±0.5mm；

边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5。

二级品：

1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。

2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。

4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm

5：几何尺寸：

边长125±0.52mm；对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；

边长103±0.52mm、对角135±0.52mm；

边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。

三级品：                                                                                                                  

1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

三、不合格品

严重线痕、厚薄片：TV＞220±60μm。

崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。

气孔片：硅片中间有穿孔 。

外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。

倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意两边的夹角>90°±0.8。

凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30μm。

脏  片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。

          注：以上标准针对的硅片厚度为220μm。

样板

硅片详细参考表

规格      125*125CM           型号    P型 单晶

电阻率      0.5-6欧姆.cm        少子寿命  ≥10us

氧含量      ＜1*10⒙CM3               碳含量    ＜5*10⒗CM3

位错    ＜5000                       对角线      150±1.0MM

厚度      125*125 220um±20 um       厚度      156*156 240um±20 um

弯曲度      ≤75PM                   切割线      ≤20 um

电池表面      无油污，裂纹，针孔

现在就硅片一些问题的想法

花片 污片

一.切割液掺有次氯酸,特别是回收液.对硅片腐蚀特别严重.

2.预冲洗的水压,水质,流量,角度,冲洗时间等,总之预冲洗要硅片表面无明显赃污,才能进入脱胶

3.脱胶时尽量全泡,水温50-60℃,加3%的草酸或柠檬酸或乳酸,自然倒伏.

4.脱胶完毕后,25~30℃纯水中超声10分钟,超声功率在2000w左右水要循环.

5.清洗剂(不同厂家)大部们都是重量比为5%的比例,温度设为60℃,超声5分钟.

6.关键是员工有没有执行和我们提供的设备工具能否满足需要.\

7.如果是个老厂,突然出现花污片了一般要在辅料上找问题(切割液 清洗剂 回收砂  等.)

8.更换时一定要用标准容器，更换量视故硅片规格和数量而定

现在就这个清洗环节清洗的问题后面会更新上