RT-100电阻率测试仪操作规程
发表于:2012-04-21 14:24:15
来源:shine magazine/光能杂志 作者:shine magazine/光能杂志
一、流程
开机、预热 点检 校正 取点测试 记录数据
测试完成
二、操作步骤
1、接通电源开启设备开关,设备启动后需预热3分钟,以保证探笔正常工作。
2、测试点检用标准样片,点检数据合格可用于正常检测使用;若点检数据超出误差范围,则需要校正(校正需要至少5块样片,且样片的电阻率值要覆盖所测的量程)。
2.1、首先点击comp进行消零。消除外设备和其他电压的影响。然后将探笔垂直压在测试的标准样片上。
2.2、待数值稳定后再点击Add按钮,会显示voltage“entervalue”窗口栏。
2.3、直接点击OK,会显示Resistivity“Entervalue”窗口栏。
2.4、在窗口栏内输入所测样片的实际电阻率值,点击OK;第一个样片标定完成。
2.5、按照以上程序将5个样片依次标定后,点击save按钮保存标定。仪器校正结束。
3、再次点检样片,若还是不合格继续标定,直到合格方可用于正常检测。
4、检测时未消除干扰影响,每测试一块物料前要先按comp键将电压偏差清零。测试时直接将探笔垂直压在硅料表面即可,但测试时测试点压平整。待数据稳定后,记录数据为硅料的电阻率值。
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