设备名称

全自动单晶制绒设备

型号

CUKWD-DJA-098001HL

设备描述

全自动单晶制绒设备1#预清洗槽，2#、6#QDR槽，3#、4#、5#制绒槽，7#混酸槽，8#OF清洗槽，9#慢提拉槽。

在86℃，低浓度的NaOH溶液中反应20min使硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔角锥体结构，工艺时间35min。

岗位描述

设备操作员：负责操作单晶制绒机，上料及下料，称取并补加试剂。

设备操作兼工艺员：负责确定正常工艺中各槽试剂量、补液量及各槽温度调整。

操      作    工     艺     规    范

一、配液

1 制绒前配液量

双面制绒初始配液量： 

常规工艺：NaOH(1140g)  (1000g)  IPA(8L)；

新工艺： NaOH(1900g)  (1000g)  IPA(9.5L)；

2 对制绒槽内纯水量的控制     制绒槽内未加IPA之前纯水控制量为100L，即制绒槽外槽第一个液位感应器为红色，加完液后应注满水制绒槽外槽第一个液位感应器为绿色。

3制绒槽的补液量   根据硅片的减重量绒面状况适当补充IPA和NaOH，补液量由工艺兼设备操作员决定。

二、设备操作

1.开机前准备

检查纯水、CDA和引入到设备的开关是否打开并确认压力正常，纯水箱是否有纯水，检查循环泵的手动阀是否打开，检查各槽排液手动阀是否关闭，检查机器是否有漏液的地方，检查在线加热开关是否正确指示，在线加热水管是否有水，以免空烧。

2.开机操作

1  检查水、气后合上设备总断路器，确认空开是否合上，按启动继电器是否得电，工控机和是否触摸屏得电，启动和显示正常，温控器是否启动。

2  启动应用程序，选择相应的生产工艺，检查是否有报警声音如液位报警，机械手报警，温度报警和其他异常声音等。

3.过程检查

生产前查看制绒槽是否洁净，制绒槽是否有残留的碎片、杂物，上料台是否洁净，各槽中是否有上个班次留下的花篮等物品，液位是否到位，各槽边的是否残留药液，传递箱下料台是否清洁，2号和6号喷淋水的压力是否到位。

要求：本班工序员必须严格检查，检查完并向本班工段长报告检查结果。

4.设备运行（自动）

在机械手运行前，对机械手X、Y、Z、U、V轴进行原点搜索，点系统准备启动，待显示系统准备完成后，点模式切换，系统切换成自动模式，点Robot1,Robot2系统自动运行。

5.设备运行（手动）

在机械手运行前，对机械手X、Y、Z、U、V轴进行原点搜索，机械手1控制1～6号槽，机械手2控制6～9号槽。

注意：1 必须将机械手1从6号槽移开，才能将机械手2移到6号槽。

      2机械臂脱钩时一定要注意对应槽子的槽盖处于打开状态