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产地：广东 深圳 深圳市 | 归属行业：光伏生产设备
有效期至：长期有效
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序号
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指 标 项 目
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指 标 值
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1
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成膜种类
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氮化硅
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2
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装片尺寸
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□125mm，□156mm
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3
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装片量
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352片/批（□125mm），308片/批（□156mm）
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4
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送舟方式
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软着陆
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5
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膜厚均匀性
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片内≤±4% 片间≤±4% 批间≤±3%
（膜厚目标值75nm）
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6
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折射率
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2.0~2.1
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7
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工作温度范围
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100~500℃
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8
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控温段数
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５段
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9
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升温方式
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自动斜率升温及快速恒温功能
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10
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恒温区精度及长度
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±2℃/1200mm（500℃）
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11
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单点温度稳定度
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＜±1℃/4h（500℃）
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12
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升温时间
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RT→450℃≤45min
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13
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温度控制
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双模控制
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14
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系统极限真空度
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<1Pa
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15
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工艺压力范围
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80 Pa~320Pa
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16
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恢复真空时间
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AP→10 Pa＜5min
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17
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系统漏气率
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停泵关阀后压力升率＜0.5Pa /min.
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18
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压力控制方式
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快速调整全自动闭环
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19
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炉门密封方式
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柔性自适应密封
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20
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工艺控制方式
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工艺过程全自动控制,多重安全连锁报警
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人机交互界面
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LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、班组管理、组网功能
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22
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送料方式
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自动上下舟
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23
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外形尺寸
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6650×2040×3580（L×W×H，mm，四管）
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