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硅片自动分选机
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  • 面议
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2012-11-08 09:19

产地:北京 北京 海淀 | 归属行业:检验/测试设备/分选机

有效期至:长期有效

联系人: 领邦

电话: 010-58717488

主营: 速检测解决方案和设备

联系地址:北京市海淀区永捷北路3号科技企业加速器一区B座3层

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企业信息

北京领邦仪器技术有限公司

免费企业 诚信指数 0 

    资料信息

  • 店铺等级:
  • 旺铺店长: lingbang

    认证信息

  • 实名认证
  • 信用认证
  • 商品合格
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  • 联系方式
  • 产品评价
  • 供货总量:
  • 发货期限:自买家付款之日起 3 天内发货
  • 所在地:北京 北京 海淀


性能指标

    本系统能够适应多种规格单晶硅片检测需求,能满足以下性能指标:

能够检测硅片各种缺陷,包括电阻率、厚度、TTVP/N、线痕、几何尺寸、脏污、孔洞、隐裂、BOW/WARP,具体检测项目和测量误差要求如表1所示;

检测效率能达到3000/小时;

   能实现自动上下料;

合格标准可设定,以适应区分不同的质量级别;

具备硅片分选功能:客户可根据需求选择分选工位的数量,各工位的分选标准可以自定义;

碎片率要求<0.1%

可以进行数据存储、统计、分析、查询及图表绘制等。配备网络接口,可以进行测量设备现场联网统一控制管理。测量结果能够打印输出。

表 1  检测项目和精度

序号

不良类型

误差

1

电阻率

5%0.3-3ohm·cm

厚度

≤ 1.5μm

TTV

≤ 3μm

P/N

无误判

BOW/WARP

根据厚度指标计算

2

边长

±0.1mm

对角线长

±0.1mm

弦长

±0.2mm

角度

±0.1°

3

孔洞(包含贯穿和非贯穿)

可识别直径大于0.15mm

裂纹、隐裂

可识别宽度×长度:0.015mm×1mm

4

脏污(包含水痕、指纹、笔油、油污、水渍、蚊虫、黑点、承载器痕、孪晶、亮线等多种)

可识别长×宽:0.15mm×0.15mm


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